64-5000 系列超高纯度绝对压力/负压调压器具备 10 Ra 的表面光洁度。进口压力为 120、600 或 3500 psig / 8.3、41.4 或 241 bar，出口压力范围为从 50 mm Hg 绝对值 - 15 至 100 psig / 50 mm Hg 绝对值 - 1.0 至 6.9