产品规则参数
| 产品名称 | 高纯气体减压阀 |
|---|---|
| 最大进口压力 | 150 psig(10.3 bar)、250 psig(17.2 bar)两档可选 |
| 出口调压范围 | 0~30 psig(0~2.1 bar) 0~60 psig(0~4.1 bar) 0~100 psig(0~6.9 bar) |
| 阀体材质 | 316L VAR不锈钢,电解抛光处理 |
| 阀座材质 | 特氟龙Teflon®、PCTFE可选 |
| 阀膜与阀杆材质 | 316L不锈钢 |
| 密封件与其他部件材质 | 316不锈钢 |
| 工作温度范围 | Teflon阀座:-40℉~160℉(-40℃~71℃) PCTFE阀座:-40℉~140℉(-40℃~60℃) |
| 进出口连接规格 | 1/4" MVCR固定式、1/2" FVCR、1/2" MVCR、1/2"管接口、3/4"管接口 |
| 压力表接口规格 | 1/4" HPIC、1/4" FVCR、1/4" MVCR固定式、1/4" MVCR旋转式 |
| 流通能力 | Cv = 1.8 |
| 整机重量 | 3.2 lbs(1.5 kg) |

TESCOM™ 23 系列无弹簧无螺纹调压阀
应用范围
半导体 / 微电子(核心)
高纯气体主管路 / 支线:晶圆厂 UHP N₂/Ar/He/H₂ 大流量稳压(≤950 SLPM),适配扩散、沉积、刻蚀等制程。
特气柜(GC)/ 阀箱(VMB):腐蚀性 / 有毒特种气(如 NH₃、HCl、Cl₂)前置减压 + 大流量吹扫,金属密封防泄漏、保纯度。
MFC 前端稳压:质量流量控制器上游稳定压力,消除入口波动,提升流量控制精度。
腔体 / 管道吹扫:无死角直通流道,大流量快速置换,降低颗粒与残留,提升良率。
光伏 / LED / 面板
集中供气系统:高纯工艺气大流量稳压 + 不间断吹扫,适配薄膜沉积、刻蚀、清洗制程。
气瓶柜 / 汇流排:多瓶并联高压(17.2 bar)减压至中低压(≤6.9 bar),稳定供气、减少换瓶波动。
实验室 / 分析 / 制药
超高纯气体:5.0/6.0 级 He/Ar/N₂ 大流量精密稳压,适配高要求分析仪器。
腐蚀性 / 无菌气体:制药无菌气、化工腐蚀性气,316L VAR + 金属膜片耐腐蚀、易清洁、无析出。
优势特点
无弹簧无螺纹,极致洁净零颗粒
内部无弹簧、无螺纹
10 Ra 镜面电解抛光
金属对金属膜片密封
大流量直通,吹扫高效无死角
高流通能力
直通无障碍流道
宽压力覆盖
安全可靠 + 易维护,UHP 合规
全关密封 + 可定位阀帽
SEMI F19 合规 + 电子级清洗
材质适配广
宽温工作
安装灵活 + 长寿命,降总成本
紧凑轻量化
模块化免工具维护
| 产品名称 | 高纯气体减压阀 |
|---|---|
| 最大进口压力 | 150 psig(10.3 bar)、250 psig(17.2 bar)两档可选 |
| 出口调压范围 | 0~30 psig(0~2.1 bar) 0~60 psig(0~4.1 bar) 0~100 psig(0~6.9 bar) |
| 阀体材质 | 316L VAR不锈钢,电解抛光处理 |
| 阀座材质 | 特氟龙Teflon®、PCTFE可选 |
| 阀膜与阀杆材质 | 316L不锈钢 |
| 密封件与其他部件材质 | 316不锈钢 |
| 工作温度范围 | Teflon阀座:-40℉~160℉(-40℃~71℃) PCTFE阀座:-40℉~140℉(-40℃~60℃) |
| 进出口连接规格 | 1/4" MVCR固定式、1/2" FVCR、1/2" MVCR、1/2"管接口、3/4"管接口 |
| 压力表接口规格 | 1/4" HPIC、1/4" FVCR、1/4" MVCR固定式、1/4" MVCR旋转式 |
| 流通能力 | Cv = 1.8 |
| 整机重量 | 3.2 lbs(1.5 kg) |









