产品概览
规格参数

产品规则参数

产品名称 高纯气体减压阀
最大进口压力 150 psig(10.3 bar)、250 psig(17.2 bar)两档可选
出口调压范围 0~30 psig(0~2.1 bar)
0~60 psig(0~4.1 bar)
0~100 psig(0~6.9 bar)
阀体材质 316L VAR不锈钢,电解抛光处理
阀座材质 特氟龙Teflon®、PCTFE可选
阀膜与阀杆材质 316L不锈钢
密封件与其他部件材质 316不锈钢
工作温度范围 Teflon阀座:-40℉~160℉(-40℃~71℃)
PCTFE阀座:-40℉~140℉(-40℃~60℃)
进出口连接规格 1/4" MVCR固定式、1/2" FVCR、1/2" MVCR、1/2"管接口、3/4"管接口
压力表接口规格 1/4" HPIC、1/4" FVCR、1/4" MVCR固定式、1/4" MVCR旋转式
流通能力 Cv = 1.8
整机重量 3.2 lbs(1.5 kg)
参考完整规格参数
TESCOM™ 23 系列无弹簧无螺纹调压阀

TESCOM™ 23 系列无弹簧无螺纹调压阀

应用范围

半导体 / 微电子(核心)

高纯气体主管路 / 支线:晶圆厂 UHP N₂/Ar/He/H₂ 大流量稳压(≤950 SLPM),适配扩散、沉积、刻蚀等制程。

特气柜(GC)/ 阀箱(VMB):腐蚀性 / 有毒特种气(如 NH₃、HCl、Cl₂)前置减压 + 大流量吹扫,金属密封防泄漏、保纯度。

MFC 前端稳压:质量流量控制器上游稳定压力,消除入口波动,提升流量控制精度。

腔体 / 管道吹扫:无死角直通流道,大流量快速置换,降低颗粒与残留,提升良率。

光伏 / LED / 面板

集中供气系统:高纯工艺气大流量稳压 + 不间断吹扫,适配薄膜沉积、刻蚀、清洗制程。

气瓶柜 / 汇流排:多瓶并联高压(17.2 bar)减压至中低压(≤6.9 bar),稳定供气、减少换瓶波动。

实验室 / 分析 / 制药

超高纯气体:5.0/6.0 级 He/Ar/N₂ 大流量精密稳压,适配高要求分析仪器。

腐蚀性 / 无菌气体:制药无菌气、化工腐蚀性气,316L VAR + 金属膜片耐腐蚀、易清洁、无析出。

优势特点

无弹簧无螺纹,极致洁净零颗粒

内部无弹簧、无螺纹

10 Ra 镜面电解抛光

金属对金属膜片密封

大流量直通,吹扫高效无死角

高流通能力

直通无障碍流道

宽压力覆盖

 安全可靠 + 易维护,UHP 合规

全关密封 + 可定位阀帽

SEMI F19 合规 + 电子级清洗

材质适配广

宽温工作

 安装灵活 + 长寿命,降总成本

紧凑轻量化

模块化免工具维护

产品名称 高纯气体减压阀
最大进口压力 150 psig(10.3 bar)、250 psig(17.2 bar)两档可选
出口调压范围 0~30 psig(0~2.1 bar)
0~60 psig(0~4.1 bar)
0~100 psig(0~6.9 bar)
阀体材质 316L VAR不锈钢,电解抛光处理
阀座材质 特氟龙Teflon®、PCTFE可选
阀膜与阀杆材质 316L不锈钢
密封件与其他部件材质 316不锈钢
工作温度范围 Teflon阀座:-40℉~160℉(-40℃~71℃)
PCTFE阀座:-40℉~140℉(-40℃~60℃)
进出口连接规格 1/4" MVCR固定式、1/2" FVCR、1/2" MVCR、1/2"管接口、3/4"管接口
压力表接口规格 1/4" HPIC、1/4" FVCR、1/4" MVCR固定式、1/4" MVCR旋转式
流通能力 Cv = 1.8
整机重量 3.2 lbs(1.5 kg)