产品概览
规格参数

产品规则参数

额定压力
最大进口压力:150 或 250 psig/10.3 或 17.2 bar 
出口压力范围:0-30、0-60、0-100 psig/0-2.1、0-4.1、0-6.9 bar
材质
阀体:经电解抛光的 316L VAR 不锈钢
阀座:Teflon® 或 PCTFE
阀膜和阀杆:316L 不锈钢
密封和其他部件:316 不锈钢

工作温度
Teflon® 阀座:-40°F 至 160°F/-40°C 至 71°C
PCTFE 阀座:-40°F 至 140°F/-40°C 至 60°C

接口尺寸和类型
进口和出口:1/4" MVCR、固定式、1/2" FVCR、1/2" MVCR、1/2" 管接口、3/4" 管接口 
压力表接口:1/4" HPIC、1/4" FVCR、1/4" MVCR、固定式、1/4" MVCR、旋转式

流通能力
Cv = 1.8
重量
3.2 lbs/1.5 kg
参考完整规格参数
TESCOM™ 23 系列无弹簧无螺纹调压阀

TESCOM™ 23 系列无弹簧无螺纹调压阀

应用范围

半导体 / 微电子(核心)

  • 高纯气体主管路 / 支线:晶圆厂 UHP N₂/Ar/He/H₂ 大流量稳压(≤950 SLPM),适配扩散、沉积、刻蚀等制程。
  • 特气柜(GC)/ 阀箱(VMB):腐蚀性 / 有毒特种气(如 NH₃、HCl、Cl₂)前置减压 + 大流量吹扫,金属密封防泄漏、保纯度。
  • MFC 前端稳压:质量流量控制器上游稳定压力,消除入口波动,提升流量控制精度。
  • 腔体 / 管道吹扫:无死角直通流道,大流量快速置换,降低颗粒与残留,提升良率。


光伏 / LED / 面板

  • 集中供气系统:高纯工艺气大流量稳压 + 不间断吹扫,适配薄膜沉积、刻蚀、清洗制程。
  • 气瓶柜 / 汇流排:多瓶并联高压(17.2 bar)减压至中低压(≤6.9 bar),稳定供气、减少换瓶波动。


实验室 / 分析 / 制药

  • 超高纯气体:5.0/6.0 级 He/Ar/N₂ 大流量精密稳压,适配高要求分析仪器。
  • 腐蚀性 / 无菌气体:制药无菌气、化工腐蚀性气,316L VAR + 金属膜片耐腐蚀、易清洁、无析出。

优势特点

无弹簧无螺纹,极致洁净零颗粒

  • 内部无弹簧、无螺纹

  • 10 Ra 镜面电解抛光

  • 金属对金属膜片密封


大流量直通,吹扫高效无死角

  • 高流通能力

  • 直通无障碍流道

  • 宽压力覆盖


 安全可靠 + 易维护,UHP 合规

  • 全关密封 + 可定位阀帽

  • SEMI F19 合规 + 电子级清洗

  • 材质适配广

  • 宽温工作


 安装灵活 + 长寿命,降总成本

  • 紧凑轻量化

  • 模块化免工具维护

额定压力
最大进口压力:150 或 250 psig/10.3 或 17.2 bar 
出口压力范围:0-30、0-60、0-100 psig/0-2.1、0-4.1、0-6.9 bar
材质
阀体:经电解抛光的 316L VAR 不锈钢
阀座:Teflon® 或 PCTFE
阀膜和阀杆:316L 不锈钢
密封和其他部件:316 不锈钢

工作温度
Teflon® 阀座:-40°F 至 160°F/-40°C 至 71°C
PCTFE 阀座:-40°F 至 140°F/-40°C 至 60°C

接口尺寸和类型
进口和出口:1/4" MVCR、固定式、1/2" FVCR、1/2" MVCR、1/2" 管接口、3/4" 管接口 
压力表接口:1/4" HPIC、1/4" FVCR、1/4" MVCR、固定式、1/4" MVCR、旋转式

流通能力
Cv = 1.8
重量
3.2 lbs/1.5 kg