产品规则参数
| 产品名称 | 高压高纯气体减压阀 |
|---|---|
| 最大进口压力 | 600 psig(41.4 bar)、3500 psig(241 bar)两档可选 |
| 出口调压范围 | 0~30 psig(0~2.1 bar) 0~60 psig(0~4.1 bar) 0~100 psig(0~6.9 bar) 0~150 psig(0~10.3 bar) 0~250 psig(0~17.2 bar) |
| 阀体材质 | 316L不锈钢电解抛光、316L VAR不锈钢可选 |
| 阀膜材质 | 316L不锈钢、Hastelloy®哈氏合金可选 |
| 弹簧材质 | 316不锈钢、Elgiloy®钴镍合金可选 |
| 阀座材质 | 标准:PCTFE、特氟龙Teflon® 3500 psig高压型可选:Vespel®聚酰亚胺 |
| 阀杆与导向件材质 | 316不锈钢、Hastelloy®哈氏合金可选 |
| 工作温度范围 | PCTFE阀座:-40℃~60℃(-40℉~140℉) Teflon阀座:-40℃~71℃(-40℉~160℉) Vespel阀座:-40℃~177℃(-40℉~350℉) |
| 连接端口规格 | 1/4" H.P.I.C.、1/4"、1/2" 外螺纹旋转式、内螺纹旋转式 1/4"卡套管接头 |
| 流通能力Cv | 3500 psig高压型:Cv = 0.06 600 psig标准型:Cv = 0.15 |
| 整机重量 | 2.0 lb(0.9 kg),不含压力表 |

TESCOM™ 64-2600 系列电子调压器
应用范围
半导体 / 微电子(核心)
1/4" 使用点(POU)稳压:晶圆厂设备端、工艺支线高纯 N₂/Ar/He/H₂小流量精密稳压,适配刻蚀、沉积、扩散等制程。
气体柜/ 阀箱(VMB):高压特种气(如 SiH₄、NH₃)前置减压,241 bar 高压入口直减至 17.2 bar 以内,金属密封防泄漏、保纯度。
高纯 / 超高纯气路:符合 SEMI F19,10 Ra 镜面光洁度 + 电子级清洗,低颗粒、低析出,保障芯片良率。
实验室 / 研发
分析仪器供气:GC、MS、AAS 等高纯载气 / 燃料气稳压,小流量稳定、压力可控。
高压气瓶直供:200/241 bar 高压气瓶直接减压至低压,简化气路、减少污染风险。
工业高纯 / 腐蚀性气体
光伏 / LED 工艺气:高纯反应气、载气小流量精密稳压,适配薄膜制程。
化工 / 制药高纯介质:腐蚀性气体(如 HCl、Cl₂)、无菌高纯气,316L VAR / 哈氏合金内件耐腐蚀、易清洁。
优势特点
高压紧凑,性价比高
双档高压入口:覆盖高压气瓶 / 气柜场景。
超紧凑轻量化:安装灵活
经济高纯方案:价格优于高端 UHP 系列,兼顾洁净与成本。
超高纯洁净,零污染保纯度
10 Ra 镜面内表面:超低颗粒附着、易吹扫、低析出,适配 UHP 气体。
316L VAR + 金属膜片:强耐腐蚀、抗卤素侵蚀。
无弹簧流道设计:零颗粒滞留、避免污染高纯气。
精密稳压 + 安全可靠,严苛工况适配
宽出口压力可选:覆盖常用中低压区间。
金属对金属膜片密封:适配有毒 / 可燃 / 高纯气体。
可调压力限位:防止超压风险。
宽温适配:覆盖工业 / 半导体全温区。
易维护 + 长寿命,降低总成本
模块化设计拆卸清洗便捷、停机时间短。
软阀座 + 金属膜片:金属膜片寿命长、抗疲劳。
| 产品名称 | 高压高纯气体减压阀 |
|---|---|
| 最大进口压力 | 600 psig(41.4 bar)、3500 psig(241 bar)两档可选 |
| 出口调压范围 | 0~30 psig(0~2.1 bar) 0~60 psig(0~4.1 bar) 0~100 psig(0~6.9 bar) 0~150 psig(0~10.3 bar) 0~250 psig(0~17.2 bar) |
| 阀体材质 | 316L不锈钢电解抛光、316L VAR不锈钢可选 |
| 阀膜材质 | 316L不锈钢、Hastelloy®哈氏合金可选 |
| 弹簧材质 | 316不锈钢、Elgiloy®钴镍合金可选 |
| 阀座材质 | 标准:PCTFE、特氟龙Teflon® 3500 psig高压型可选:Vespel®聚酰亚胺 |
| 阀杆与导向件材质 | 316不锈钢、Hastelloy®哈氏合金可选 |
| 工作温度范围 | PCTFE阀座:-40℃~60℃(-40℉~140℉) Teflon阀座:-40℃~71℃(-40℉~160℉) Vespel阀座:-40℃~177℃(-40℉~350℉) |
| 连接端口规格 | 1/4" H.P.I.C.、1/4"、1/2" 外螺纹旋转式、内螺纹旋转式 1/4"卡套管接头 |
| 流通能力Cv | 3500 psig高压型:Cv = 0.06 600 psig标准型:Cv = 0.15 |
| 整机重量 | 2.0 lb(0.9 kg),不含压力表 |









