产品规则参数
| 产品名称 | 高流量高压减压阀 |
|---|---|
| 最大进口压力 | 1500 psig(103 bar) |
| 出口调压范围 | 25~400 psig(1.7~27.6 bar) |
| 阀体材质 | 316L VAR不锈钢 |
| 阀膜材质 | Elgiloy®钴镍合金 |
| 阀座材质 | PCTFE聚三氟氯乙烯 |
| 阀内件材质 | Hastelloy®哈氏合金 |
| 阀芯材质 | Hastelloy®哈氏合金 |
| 工作温度范围 | -40℉~140℉(-40℃~60℃) |
| 连接端口规格 | 1/4" 外螺纹旋转接口(高流量型) 1/4" 内螺纹旋转接口(高流量型) 1/2" 外螺纹旋转接口 1/2" 内螺纹旋转接口 1/2" 卡套管接口 |
| 流通能力 | Cv = 1.0 |
| 整机重量 | 3.5 lb(1.6 kg) |

TESCOM™ 449-254 系列气体调压器
应用范围
半导体 / 微电子(核心)
高压大宗特种气体输送系统(BSGS):适配晶圆厂中央气站、大宗气柜分支、工艺端前级稳压。
高纯洁净气路:扩散、刻蚀、沉积等工艺高纯 / 超高纯气体稳压,
腐蚀性 / 剧毒特种气:Cl₂、HCl、HF、AsH₃、PH₃等,哈氏合金内件 + 金属膜片,耐腐蚀、抗污染、零泄漏。
工业高纯气体与特种气站
高压特种气瓶 / 集束格:适配高纯 / 稀有 / 腐蚀性气体集束供气,简化多级系统。
光伏 / LED 工艺气:高纯载气、反应气中流量精密稳压,压力稳定、纯度无损失,适配薄膜沉积、刻蚀制程。
实验室 / 研发高纯气:高校、科研院所高压高纯气集中供气,适配多台仪器并联、大流量高纯气需求。
制药 / 医疗与高纯过程
无菌高纯 N₂/ 洁净空气:制药发酵、无菌灌装、生物反应器中流量稳压,低微生物附着、易清洁。
特种医疗气体:高纯 O₂、N₂O、混合医用气高压减压稳压,金属密封 + 零泄漏,保障医疗安全。
优势特点
高压中流量,适配大宗气站
超高入口压力:覆盖高压特种气瓶 / BSGS 系统,单级替代多级、降成本。
中高流量系数:满足大宗气站分支 / 工艺端需求。
宽出口压力:覆盖半导体 / 工业高纯气常用中压区间。
超高纯洁净设计,零污染保纯度
10 Ra 镜面级光洁度
316L VAR + 哈氏合金内件
金属对金属膜片密封
安全可靠 + 易安装,适配严苛工况
气泡级密封 + 防爆设计防爆防泄漏
SEMI F19 合规 + 模块化接口
紧凑轻量化 + 宽温
易维护 + 长寿命,降低总拥有成本
无弹簧洁净腔设计
模块化内件 + 免工具维护
| 产品名称 | 高流量高压减压阀 |
|---|---|
| 最大进口压力 | 1500 psig(103 bar) |
| 出口调压范围 | 25~400 psig(1.7~27.6 bar) |
| 阀体材质 | 316L VAR不锈钢 |
| 阀膜材质 | Elgiloy®钴镍合金 |
| 阀座材质 | PCTFE聚三氟氯乙烯 |
| 阀内件材质 | Hastelloy®哈氏合金 |
| 阀芯材质 | Hastelloy®哈氏合金 |
| 工作温度范围 | -40℉~140℉(-40℃~60℃) |
| 连接端口规格 | 1/4" 外螺纹旋转接口(高流量型) 1/4" 内螺纹旋转接口(高流量型) 1/2" 外螺纹旋转接口 1/2" 内螺纹旋转接口 1/2" 卡套管接口 |
| 流通能力 | Cv = 1.0 |
| 整机重量 | 3.5 lb(1.6 kg) |









