产品概览
规格参数

产品规则参数

产品名称 高流量高压减压阀
最大进口压力 1500 psig(103 bar)
出口调压范围 25~400 psig(1.7~27.6 bar)
阀体材质 316L VAR不锈钢
阀膜材质 Elgiloy®钴镍合金
阀座材质 PCTFE聚三氟氯乙烯
阀内件材质 Hastelloy®哈氏合金
阀芯材质 Hastelloy®哈氏合金
工作温度范围 -40℉~140℉(-40℃~60℃)
连接端口规格 1/4" 外螺纹旋转接口(高流量型)
1/4" 内螺纹旋转接口(高流量型)
1/2" 外螺纹旋转接口
1/2" 内螺纹旋转接口
1/2" 卡套管接口
流通能力 Cv = 1.0
整机重量 3.5 lb(1.6 kg)
参考完整规格参数
TESCOM™ 449-254 系列气体调压器

TESCOM™ 449-254 系列气体调压器

应用范围

半导体 / 微电子(核心)

高压大宗特种气体输送系统(BSGS):适配晶圆厂中央气站、大宗气柜分支、工艺端前级稳压。

高纯洁净气路:扩散、刻蚀、沉积等工艺高纯 / 超高纯气体稳压,

腐蚀性 / 剧毒特种气:Cl₂、HCl、HF、AsH₃、PH₃等,哈氏合金内件 + 金属膜片,耐腐蚀、抗污染、零泄漏。

工业高纯气体与特种气站

高压特种气瓶 / 集束格:适配高纯 / 稀有 / 腐蚀性气体集束供气,简化多级系统。

光伏 / LED 工艺气:高纯载气、反应气中流量精密稳压,压力稳定、纯度无损失,适配薄膜沉积、刻蚀制程。

实验室 / 研发高纯气:高校、科研院所高压高纯气集中供气,适配多台仪器并联、大流量高纯气需求。

制药 / 医疗与高纯过程

无菌高纯 N₂/ 洁净空气:制药发酵、无菌灌装、生物反应器中流量稳压,低微生物附着、易清洁。

特种医疗气体:高纯 O₂、N₂O、混合医用气高压减压稳压,金属密封 + 零泄漏,保障医疗安全。

优势特点

高压中流量,适配大宗气站

超高入口压力:覆盖高压特种气瓶 / BSGS 系统,单级替代多级、降成本。

中高流量系数:满足大宗气站分支 / 工艺端需求。

宽出口压力:覆盖半导体 / 工业高纯气常用中压区间。

超高纯洁净设计,零污染保纯度

10 Ra 镜面级光洁度

316L VAR + 哈氏合金内件

金属对金属膜片密封

安全可靠 + 易安装,适配严苛工况

气泡级密封 + 防爆设计防爆防泄漏

SEMI F19 合规 + 模块化接口

紧凑轻量化 + 宽温

易维护 + 长寿命,降低总拥有成本

无弹簧洁净腔设计

模块化内件 + 免工具维护

产品名称 高流量高压减压阀
最大进口压力 1500 psig(103 bar)
出口调压范围 25~400 psig(1.7~27.6 bar)
阀体材质 316L VAR不锈钢
阀膜材质 Elgiloy®钴镍合金
阀座材质 PCTFE聚三氟氯乙烯
阀内件材质 Hastelloy®哈氏合金
阀芯材质 Hastelloy®哈氏合金
工作温度范围 -40℉~140℉(-40℃~60℃)
连接端口规格 1/4" 外螺纹旋转接口(高流量型)
1/4" 内螺纹旋转接口(高流量型)
1/2" 外螺纹旋转接口
1/2" 内螺纹旋转接口
1/2" 卡套管接口
流通能力 Cv = 1.0
整机重量 3.5 lb(1.6 kg)