产品概览
规格参数

产品规则参数

压力额定值
最大进口压力:1500 psig/103 bar
出口压力范围:25-400 psig/1.7-27.6 bar
材料
阀体:316L VAR 不锈钢
阀膜:Elgiloy®
阀座:PCTFE
阀内件:Hastelloy®
阀门:Hastelloy®
工作温度
-40°F 至 140°F / -40°C 至 60°C
接口尺寸和类型
1/4" 外螺纹旋转接口(高流量)
1/4" 内螺纹旋转接口(高流量)
1/2" 外螺纹旋转接口
1/2" 内螺纹旋转接口
1/2" 管接口
流通能力
Cv = 1.0
重量
3.5 lb / 1.6 kg
参考完整规格参数
TESCOM™ 449-254 系列气体调压器

TESCOM™ 449-254 系列气体调压器

应用范围

半导体 / 微电子(核心)

  • 高压大宗特种气体输送系统(BSGS):适配晶圆厂中央气站、大宗气柜分支、工艺端前级稳压。

  • 高纯洁净气路:扩散、刻蚀、沉积等工艺高纯 / 超高纯气体稳压,

  • 腐蚀性 / 剧毒特种气:Cl₂、HCl、HF、AsH₃、PH₃等,哈氏合金内件 + 金属膜片,耐腐蚀、抗污染、零泄漏。


工业高纯气体与特种气站

  • 高压特种气瓶 / 集束格:适配高纯 / 稀有 / 腐蚀性气体集束供气,简化多级系统。

  • 光伏 / LED 工艺气:高纯载气、反应气中流量精密稳压,压力稳定、纯度无损失,适配薄膜沉积、刻蚀制程。

  • 实验室 / 研发高纯气:高校、科研院所高压高纯气集中供气,适配多台仪器并联、大流量高纯气需求。


制药 / 医疗与高纯过程

  • 无菌高纯 N₂/ 洁净空气:制药发酵、无菌灌装、生物反应器中流量稳压,低微生物附着、易清洁。

  • 特种医疗气体:高纯 O₂、N₂O、混合医用气高压减压稳压,金属密封 + 零泄漏,保障医疗安全。

优势特点

高压中流量,适配大宗气站
  • 超高入口压力:覆盖高压特种气瓶 / BSGS 系统,单级替代多级、降成本。
  • 中高流量系数:满足大宗气站分支 / 工艺端需求。
  • 宽出口压力:覆盖半导体 / 工业高纯气常用中压区间。

超高纯洁净设计,零污染保纯度
  • 10 Ra 镜面级光洁度
  • 316L VAR + 哈氏合金内件
  • 金属对金属膜片密封

安全可靠 + 易安装,适配严苛工况
  • 气泡级密封 + 防爆设计防爆防泄漏
  • SEMI F19 合规 + 模块化接口
  • 紧凑轻量化 + 宽温

易维护 + 长寿命,降低总拥有成本
  • 无弹簧洁净腔设计
  • 模块化内件 + 免工具维护
压力额定值
最大进口压力:1500 psig/103 bar
出口压力范围:25-400 psig/1.7-27.6 bar
材料
阀体:316L VAR 不锈钢
阀膜:Elgiloy®
阀座:PCTFE
阀内件:Hastelloy®
阀门:Hastelloy®
工作温度
-40°F 至 140°F / -40°C 至 60°C
接口尺寸和类型
1/4" 外螺纹旋转接口(高流量)
1/4" 内螺纹旋转接口(高流量)
1/2" 外螺纹旋转接口
1/2" 内螺纹旋转接口
1/2" 管接口
流通能力
Cv = 1.0
重量
3.5 lb / 1.6 kg