产品概览
规格参数
产品规则参数
| 最大进口压力 | 150 psig（10.3 bar） |
|---|---|
| 出口调压范围 | 负压段：250 mm Hg～15 psig（250 mm Hg～1.0 bar） 正压段：0～30 psig（0～2.1 bar）、0～60 psig（0～4.1 bar）、0～100 psig（0～6.9 bar） |
| 阀体材质 | 316L VAR 不锈钢 |
| 阀膜材质 | Hastelloy哈氏合金 |
| 阀座材质 | PCTFE |
| 阀杆材质 | Hastelloy®哈氏合金 |
| 其余零部件材质 | 316L VAR 不锈钢 |
| 工作温度范围 | -40℉～140℉（-40℃～60℃） |
| 连接安装规格 | 焊接接口：1/4" VCR®、卡套管接头 表面安装占位尺寸：1.125"、1.50" |
| 流通能力Cv | 标准款：Cv = 0.04 高流量款：Cv = 0.08 |
| 整机重量 | VCR®/IGS型号：0.60 lb（0.3 kg） A型型号：1.08 lb（0.5 kg） |
参考完整规格参数
TESCOM™ 12 系列无弹簧无螺纹调压器
应用范围
半导体 / 微电子（核心）
OEM 设备内置：刻蚀、沉积、离子注入机台1/4" 末端 POU 稳压，无弹簧无螺纹零颗粒滞留，提升 MFC 稳定性与工艺良率。
低压气柜 / VMB：Ar、N₂、O₂等低压高纯气（≤10.3 bar）稳压，适配低压气瓶与分支管路。
微型气路 / 面板：Fab 厂狭小空间密集安装，重量仅 0.3 kg，适配高密度气路设计。
分析仪器与实验室
气体分析 / 质谱 / 色谱：载气、样气低压精密稳压，流量 2–120 SLPM，压力波动极小，数据重复性好。
高纯 / 腐蚀性气体：Hastelloy 膜片 + PCTFE 阀座，适配卤素、氢化物、弱酸气，低析出、长寿命。
真空 / 低压系统：出口可至250 mm Hg（真空），适配真空腔体、微量供气、实验室反应釜。
制药 / 生物与特种工业
无菌高纯气：制药冻干、无菌包装用 N₂，5 Ra 镜面 + 低内体积 + 易吹扫，符合洁净标准。
新能源 / 氢能：低压氢精密稳压，适配燃料电池测试、氢循环系统，抗氢脆、低泄漏。
优势特点
无弹簧无螺纹，极致洁净低颗粒
内腔无弹簧、无螺纹
固连膜片
金属对金属密封
电解抛光 + 高纯材质，耐腐蚀低析出
阀体：316L VAR 不锈钢
膜片 / 阀杆：抗疲劳、无析出、寿命长。
阀座：PCTFE（-40～60°C），标准、耐腐蚀、低析出。
微型轻量化 + 低压稳压，安装灵活
超紧凑设计
低压稳压范围
流量系数 Cv
合规 + 易维护，适配严苛工况
符合 SEMI F19 / 模块化接口
低内体积
安全可靠
| 最大进口压力 | 150 psig（10.3 bar） |
|---|---|
| 出口调压范围 | 负压段：250 mm Hg～15 psig（250 mm Hg～1.0 bar） 正压段：0～30 psig（0～2.1 bar）、0～60 psig（0～4.1 bar）、0～100 psig（0～6.9 bar） |
| 阀体材质 | 316L VAR 不锈钢 |
| 阀膜材质 | Hastelloy哈氏合金 |
| 阀座材质 | PCTFE |
| 阀杆材质 | Hastelloy®哈氏合金 |
| 其余零部件材质 | 316L VAR 不锈钢 |
| 工作温度范围 | -40℉～140℉（-40℃～60℃） |
| 连接安装规格 | 焊接接口：1/4" VCR®、卡套管接头 表面安装占位尺寸：1.125"、1.50" |
| 流通能力Cv | 标准款：Cv = 0.04 高流量款：Cv = 0.08 |
| 整机重量 | VCR®/IGS型号：0.60 lb（0.3 kg） A型型号：1.08 lb（0.5 kg） |
