产品概览

规格参数

产品规则参数

额定压力
最大进口压力：
150 psig / 10.3 bar

最大出口压力：
250 mm Hg-15 psig / 250 mm Hg-1.0 bar
0-30、0-60、0-100 psig / 0-2.1、0-4.1、0-6.9 bar
材质
阀体：316L VAR 不锈钢
阀膜：Hastelloy®
阀座：PCTFE
阀杆：Hastelloy®
其他部件材质：316L VAR 不锈钢
工作温度
-40°F 至 140°F / -40°C 至 60°C
连接件
焊接：1/4" VCR® 或管接头
表面安装：1.125" 或 1.50" 占用空间
流通能力
标准：Cv = 0.04
高流量：Cv = 0.08
重量
VCR®、IGS：0.60 lb / 0.3 kg
A 型：1.08 lb / 0.5 kg

参考完整规格参数

TESCOM™ 12 系列无弹簧无螺纹调压器

TESCOM™ 12 系列无弹簧无螺纹调压器

应用范围

半导体 / 微电子（核心）

OEM 设备内置：刻蚀、沉积、离子注入机台1/4" 末端 POU 稳压，无弹簧无螺纹零颗粒滞留，提升 MFC 稳定性与工艺良率。
低压气柜 / VMB：Ar、N₂、O₂等低压高纯气（≤10.3 bar）稳压，适配低压气瓶与分支管路。
微型气路 / 面板：Fab 厂狭小空间密集安装，重量仅 0.3 kg，适配高密度气路设计。

分析仪器与实验室

气体分析 / 质谱 / 色谱：载气、样气低压精密稳压，流量 2–120 SLPM，压力波动极小，数据重复性好。
高纯 / 腐蚀性气体：Hastelloy 膜片 + PCTFE 阀座，适配卤素、氢化物、弱酸气，低析出、长寿命。
真空 / 低压系统：出口可至250 mm Hg（真空），适配真空腔体、微量供气、实验室反应釜。

制药 / 生物与特种工业

无菌高纯气：制药冻干、无菌包装用 N₂，5 Ra 镜面 + 低内体积 + 易吹扫，符合洁净标准。
新能源 / 氢能：低压氢精密稳压，适配燃料电池测试、氢循环系统，抗氢脆、低泄漏。

优势特点

无弹簧无螺纹，极致洁净低颗粒

内腔无弹簧、无螺纹
固连膜片
金属对金属密封

电解抛光 + 高纯材质，耐腐蚀低析出

阀体：316L VAR 不锈钢
膜片 / 阀杆：抗疲劳、无析出、寿命长。
阀座：PCTFE（-40～60°C），标准、耐腐蚀、低析出。

微型轻量化 + 低压稳压，安装灵活

超紧凑设计
低压稳压范围
流量系数 Cv

合规 + 易维护，适配严苛工况

符合 SEMI F19 / 模块化接口
低内体积
安全可靠

额定压力
最大进口压力：
150 psig / 10.3 bar

最大出口压力：
250 mm Hg-15 psig / 250 mm Hg-1.0 bar
0-30、0-60、0-100 psig / 0-2.1、0-4.1、0-6.9 bar
材质
阀体：316L VAR 不锈钢
阀膜：Hastelloy®
阀座：PCTFE
阀杆：Hastelloy®
其他部件材质：316L VAR 不锈钢
工作温度
-40°F 至 140°F / -40°C 至 60°C
连接件
焊接：1/4" VCR® 或管接头
表面安装：1.125" 或 1.50" 占用空间
流通能力
标准：Cv = 0.04
高流量：Cv = 0.08
重量
VCR®、IGS：0.60 lb / 0.3 kg
A 型：1.08 lb / 0.5 kg

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