产品规则参数

压力额定值
最大进口压力：3500 psig / 241 bar
出口压力范围：30、60、100、150 psig / 2.1、4.1、6.9、10.3 bar
阀体材质
经电解抛光的 316L 不锈钢或 316L VAR 不锈钢
阀膜
316L 不锈钢
阀座
聚三氟氯乙烯 (PCTFE) 或 Teflon® PFA
阀弹簧
316 不锈钢
阀杆和其他部件
316 不锈钢（可选 Hastelloy®）
工作温度
Teflon® PFA 阀座：-40°C 至 71°C / -40°F 至 160°F
PCTFE 阀座：-40°C 至 60°C / -40°F 至 140°F

端口尺寸和类型
1/4 H.P.I.C.
1/4, 1/2
外螺纹旋转、固定内螺纹、内螺纹旋转
1/4 管接头
流通能力
请参阅部件号选择器
重量
3.0 lb / 1.4 kg

参考完整规格参数

TESCOM™ 64-3400 系列双级调压器

应用范围

半导体 / 微电子（核心）

气柜（Gas Cabinet）/VMB：高压特种气体（SiH₄、HCl、NH₃、Cl₂）241 bar→中低压，双级抑制气瓶压力衰减（3500→500 psig）导致的出口漂移，工艺压力长期稳定。
大宗特气 BSGS：Ar、N₂、O₂等高压汇流后双级精密稳压，适配 Fab 厂多支路、长时间连续供气。
刻蚀 / 沉积 / 扩散：对压力漂移敏感的工艺端，末端稳压 + 抗入口波动，提升良率。

特种气体与分析仪器

腐蚀性 / 有毒气体：316L 金属膜片 + PCTFE/PFA 阀座，可选Hastelloy C-276 内件，适配卤素、氢化物、强酸气，低析出、长寿命、密封可靠。
气体分析 / 激光 / 质谱：高压气瓶直接供气，压力从 241 bar 逐级降至 2.1–10.3 bar，流量变化 / 气瓶降压时出口几乎无漂移，数据重复性好。
高压微量供气：实验室 / 中试高压反应釜、真空腔体，宽压力区间精密控压，无需多级减压、简化系统。

制药 / 生物与氢能

无菌高纯气：制药冻干、无菌包装用 N₂，10 Ra 镜面 + 低内体积 + 易吹扫，符合洁净标准。
氢能 / 新能源：高压氢241 bar 双级减压，适配燃料电池测试、氢循环系统，抗氢脆、低泄漏。

优势特点

双级减压，稳压精度顶级（抗入口漂移）

双级串联设计
固连膜片
出口压力范围：覆盖常用高纯工艺区间。

电解抛光 + 高纯材质，洁净耐腐蚀

阀体：316L/316L VAR 不锈钢
膜片：316L 不锈钢

高压耐受 + 安全易维护

低内体积
安全设计
紧凑型 + 高纯接口