产品规则参数
| 最大进口压力 | 3500 psig(241 bar) |
|---|---|
| 出口调压范围 | 30 psig(2.1 bar)、60 psig(4.1 bar)、100 psig(6.9 bar)、150 psig(10.3 bar) |
| 阀体材质 | 电解抛光316L不锈钢、316L VAR不锈钢可选 |
| 阀膜材质 | 316L不锈钢 |
| 阀座材质 | 聚三氟氯乙烯(PCTFE)、Teflon® PFA特氟龙可选 |
| 弹簧材质 | 316不锈钢 |
| 阀杆及其余零部件 | 标准316不锈钢,可选Hastelloy®哈氏合金 |
| 工作温度范围 | Teflon® PFA阀座:-40℃~71℃(-40℉~160℉) PCTFE阀座:-40℃~60℃(-40℉~140℉) |
| 端口规格类型 | 1/4" H.P.I.C. 1/4"、1/2" 规格,包含外螺纹旋转、固定内螺纹、内螺纹旋转结构 1/4"卡套管接头 |
| 流通能力Cv | 请查阅型号选型表确认 |
| 整机重量 | 3.0 lb(1.4 kg) |

TESCOM™ 64-3400 系列双级调压器
应用范围
半导体 / 微电子(核心)
气柜(Gas Cabinet)/VMB:高压特种气体(SiH₄、HCl、NH₃、Cl₂)241 bar→中低压,双级抑制气瓶压力衰减(3500→500 psig)导致的出口漂移,工艺压力长期稳定。
大宗特气 BSGS:Ar、N₂、O₂等高压汇流后双级精密稳压,适配 Fab 厂多支路、长时间连续供气。
刻蚀 / 沉积 / 扩散:对压力漂移敏感的工艺端,末端稳压 + 抗入口波动,提升良率。
特种气体与分析仪器
腐蚀性 / 有毒气体:316L 金属膜片 + PCTFE/PFA 阀座,可选Hastelloy C-276 内件,适配卤素、氢化物、强酸气,低析出、长寿命、密封可靠。
气体分析 / 激光 / 质谱:高压气瓶直接供气,压力从 241 bar 逐级降至 2.1–10.3 bar,流量变化 / 气瓶降压时出口几乎无漂移,数据重复性好。
高压微量供气:实验室 / 中试高压反应釜、真空腔体,宽压力区间精密控压,无需多级减压、简化系统。
制药 / 生物与氢能
无菌高纯气:制药冻干、无菌包装用 N₂,10 Ra 镜面 + 低内体积 + 易吹扫,符合洁净标准。
氢能 / 新能源:高压氢241 bar 双级减压,适配燃料电池测试、氢循环系统,抗氢脆、低泄漏。
优势特点
双级减压,稳压精度顶级(抗入口漂移)
双级串联设计
固连膜片
出口压力范围:覆盖常用高纯工艺区间。
电解抛光 + 高纯材质,洁净耐腐蚀
阀体:316L/316L VAR 不锈钢
膜片:316L 不锈钢
高压耐受 + 安全易维护
低内体积
安全设计
紧凑型 + 高纯接口
| 最大进口压力 | 3500 psig(241 bar) |
|---|---|
| 出口调压范围 | 30 psig(2.1 bar)、60 psig(4.1 bar)、100 psig(6.9 bar)、150 psig(10.3 bar) |
| 阀体材质 | 电解抛光316L不锈钢、316L VAR不锈钢可选 |
| 阀膜材质 | 316L不锈钢 |
| 阀座材质 | 聚三氟氯乙烯(PCTFE)、Teflon® PFA特氟龙可选 |
| 弹簧材质 | 316不锈钢 |
| 阀杆及其余零部件 | 标准316不锈钢,可选Hastelloy®哈氏合金 |
| 工作温度范围 | Teflon® PFA阀座:-40℃~71℃(-40℉~160℉) PCTFE阀座:-40℃~60℃(-40℉~140℉) |
| 端口规格类型 | 1/4" H.P.I.C. 1/4"、1/2" 规格,包含外螺纹旋转、固定内螺纹、内螺纹旋转结构 1/4"卡套管接头 |
| 流通能力Cv | 请查阅型号选型表确认 |
| 整机重量 | 3.0 lb(1.4 kg) |









