产品概览
规格参数

产品规则参数

最大进口压力 3500 psig(241 bar)
出口调压范围 30 psig(2.1 bar)、60 psig(4.1 bar)、100 psig(6.9 bar)、150 psig(10.3 bar)
阀体材质 电解抛光316L不锈钢、316L VAR不锈钢可选
阀膜材质 316L不锈钢
阀座材质 聚三氟氯乙烯(PCTFE)、Teflon® PFA特氟龙可选
弹簧材质 316不锈钢
阀杆及其余零部件 标准316不锈钢,可选Hastelloy®哈氏合金
工作温度范围 Teflon® PFA阀座:-40℃~71℃(-40℉~160℉)
PCTFE阀座:-40℃~60℃(-40℉~140℉)
端口规格类型 1/4" H.P.I.C.
1/4"、1/2" 规格,包含外螺纹旋转、固定内螺纹、内螺纹旋转结构
1/4"卡套管接头
流通能力Cv 请查阅型号选型表确认
整机重量 3.0 lb(1.4 kg)
参考完整规格参数
TESCOM™ 64-3400 系列双级调压器

TESCOM™ 64-3400 系列双级调压器

应用范围

半导体 / 微电子(核心)

气柜(Gas Cabinet)/VMB:高压特种气体(SiH₄、HCl、NH₃、Cl₂)241 bar→中低压,双级抑制气瓶压力衰减(3500→500 psig)导致的出口漂移,工艺压力长期稳定。

大宗特气 BSGS:Ar、N₂、O₂等高压汇流后双级精密稳压,适配 Fab 厂多支路、长时间连续供气。

刻蚀 / 沉积 / 扩散:对压力漂移敏感的工艺端,末端稳压 + 抗入口波动,提升良率。

特种气体与分析仪器

腐蚀性 / 有毒气体:316L 金属膜片 + PCTFE/PFA 阀座,可选Hastelloy C-276 内件,适配卤素、氢化物、强酸气,低析出、长寿命、密封可靠。

气体分析 / 激光 / 质谱:高压气瓶直接供气,压力从 241 bar 逐级降至 2.1–10.3 bar,流量变化 / 气瓶降压时出口几乎无漂移,数据重复性好。

高压微量供气:实验室 / 中试高压反应釜、真空腔体,宽压力区间精密控压,无需多级减压、简化系统。

制药 / 生物与氢能

无菌高纯气:制药冻干、无菌包装用 N₂,10 Ra 镜面 + 低内体积 + 易吹扫,符合洁净标准。

氢能 / 新能源:高压氢241 bar 双级减压,适配燃料电池测试、氢循环系统,抗氢脆、低泄漏。

优势特点

双级减压,稳压精度顶级(抗入口漂移)

双级串联设计

固连膜片

出口压力范围:覆盖常用高纯工艺区间。

电解抛光 + 高纯材质,洁净耐腐蚀

阀体:316L/316L VAR 不锈钢

膜片:316L 不锈钢

高压耐受 + 安全易维护

低内体积

安全设计

紧凑型 + 高纯接口

最大进口压力 3500 psig(241 bar)
出口调压范围 30 psig(2.1 bar)、60 psig(4.1 bar)、100 psig(6.9 bar)、150 psig(10.3 bar)
阀体材质 电解抛光316L不锈钢、316L VAR不锈钢可选
阀膜材质 316L不锈钢
阀座材质 聚三氟氯乙烯(PCTFE)、Teflon® PFA特氟龙可选
弹簧材质 316不锈钢
阀杆及其余零部件 标准316不锈钢,可选Hastelloy®哈氏合金
工作温度范围 Teflon® PFA阀座:-40℃~71℃(-40℉~160℉)
PCTFE阀座:-40℃~60℃(-40℉~140℉)
端口规格类型 1/4" H.P.I.C.
1/4"、1/2" 规格,包含外螺纹旋转、固定内螺纹、内螺纹旋转结构
1/4"卡套管接头
流通能力Cv 请查阅型号选型表确认
整机重量 3.0 lb(1.4 kg)