产品概览
规格参数
产品规则参数
| 最大进口压力 | 600 psig（41.4 bar）、3500 psig（241 bar）两种规格可选 |
|---|---|
| 出口调压范围 | 30 psig（2.1 bar）、60 psig（4.1 bar）、100 psig（6.9 bar）、150 psig（10.3 bar） |
| 阀体材质 | 电解抛光316L不锈钢、316L VAR不锈钢可选 |
| 阀膜材质 | Hastelloy哈氏合金 |
| 阀座材质 | PCTFE、Teflon PFA特氟龙、Vespel聚酰亚胺可选 |
| 阀杆与弹簧材质 | 316不锈钢 |
| 其余零部件材质 | 316不锈钢、Hastelloy®哈氏合金可选 |
| 工作温度范围 | Teflon PFA阀座：-40℃～71℃（-40℉～160℉） Vespel阀座：-40℃～177℃（-40℉～350℉） PCTFE阀座：-40℃～60℃（-40℉～140℉） |
| 端口规格类型 | 尺寸：1/4"、1/2" 结构：外螺纹旋转、内螺纹旋转、外螺纹固定、HPIC接口 配套：1/4"卡套管接头 |
| 流通能力Cv | Cv = 0.15、Cv = 0.06 两种可选 |
| 整机重量 | 2 lb（0.9 kg） |
参考完整规格参数
TESCOM™ 64-3600 系列高灵敏度调压器
应用范围
半导体 / 微电子（核心）
1/4" 末端用气点（POU）：刻蚀、沉积、扩散、离子注入等高纯气（Ar/N₂/O₂）精密稳压，抑制压力波动，提升工艺良率。
气柜（Gas Cabinet）/VMB：高压特种气体（NH₃、HCl、SiH₄、Cl₂）洁净、低泄漏、易吹扫。
大宗特气分支：BSGS 系统高压转中低压稳压，适配 Fab 厂多支路精密供气。
分析仪器与实验室
气体分析系统：质谱、色谱、ICP、激光系统样气精密稳压，流量变化时压力稳定，数据重复性好。
研发 / 中试：高压反应釜、真空腔体、微量供气高精度控压，适配宽温、高纯、腐蚀工况。
特种气体与工业高纯
腐蚀性 / 有毒气体：Hastelloy 膜片 + PCTFE/PFA/Vespel 阀座，适配卤素、氢化物、强酸气，低析出、长寿命。
高压气瓶减压：241 bar 高压高纯气直接降至2.1/4.1/6.9/10.3 bar，无需多级减压，简化系统。
制药 / 生物：无菌氮气、惰性保护气稳压，10 Ra 镜面 + 低内体积，符合洁净标准。
优势特点
高灵敏 + 低压降，稳压精度顶尖
固连膜片设计
稳压精度高
电解抛光 + 高纯材质，洁净耐腐蚀
阀体：316L/316L VAR 不锈钢
膜片：Hastelloy® C-276，耐强酸 / 卤素 / 氢气
高压耐受 + 安全设计，适配严苛工况
双入口压力等
安全可靠
紧凑型 + 高纯接口，安装维护便捷
体积小、重量轻
高纯接口
模块化设计
| 最大进口压力 | 600 psig（41.4 bar）、3500 psig（241 bar）两种规格可选 |
|---|---|
| 出口调压范围 | 30 psig（2.1 bar）、60 psig（4.1 bar）、100 psig（6.9 bar）、150 psig（10.3 bar） |
| 阀体材质 | 电解抛光316L不锈钢、316L VAR不锈钢可选 |
| 阀膜材质 | Hastelloy哈氏合金 |
| 阀座材质 | PCTFE、Teflon PFA特氟龙、Vespel聚酰亚胺可选 |
| 阀杆与弹簧材质 | 316不锈钢 |
| 其余零部件材质 | 316不锈钢、Hastelloy®哈氏合金可选 |
| 工作温度范围 | Teflon PFA阀座：-40℃～71℃（-40℉～160℉） Vespel阀座：-40℃～177℃（-40℉～350℉） PCTFE阀座：-40℃～60℃（-40℉～140℉） |
| 端口规格类型 | 尺寸：1/4"、1/2" 结构：外螺纹旋转、内螺纹旋转、外螺纹固定、HPIC接口 配套：1/4"卡套管接头 |
| 流通能力Cv | Cv = 0.15、Cv = 0.06 两种可选 |
| 整机重量 | 2 lb（0.9 kg） |
