产品概览
规格参数
产品规则参数
压力额定值
最大进口压力：600 或 3500 psig / 41.4 或 241 bar
出口压力范围：30、60、100、150 psig / 2.1、4.1、6.9、10.3 bar
阀体材质
经电解抛光的 316L 不锈钢或 316L VAR 不锈钢
阀膜
Hastelloy®
阀座
PCTFE、Teflon PFA® 或 Vespel®
阀杆和阀弹簧
316 不锈钢
其他部件
316 不锈钢或 Hastelloy®
工作温度
Teflon® PFA 阀座：-40 至 71°C/-40 至 160°F
Vespel® 阀座：-40 至 177°C/-40 至 350°F
PCTFE 阀座：-40 至 60°C/-40 至 140°F
端口尺寸和类型
1/4、1/2
外螺纹旋转、内螺纹旋转、外螺纹固定、HPIC
1/4 管接头
流通能力
Cv = 0.15 或 0.06
重量
2 lb / 0.9 kg
最大进口压力：600 或 3500 psig / 41.4 或 241 bar
出口压力范围：30、60、100、150 psig / 2.1、4.1、6.9、10.3 bar
阀体材质
经电解抛光的 316L 不锈钢或 316L VAR 不锈钢
阀膜
Hastelloy®
阀座
PCTFE、Teflon PFA® 或 Vespel®
阀杆和阀弹簧
316 不锈钢
其他部件
316 不锈钢或 Hastelloy®
工作温度
Teflon® PFA 阀座：-40 至 71°C/-40 至 160°F
Vespel® 阀座：-40 至 177°C/-40 至 350°F
PCTFE 阀座：-40 至 60°C/-40 至 140°F
端口尺寸和类型
1/4、1/2
外螺纹旋转、内螺纹旋转、外螺纹固定、HPIC
1/4 管接头
流通能力
Cv = 0.15 或 0.06
重量
2 lb / 0.9 kg
参考完整规格参数
TESCOM™ 64-3600 系列高灵敏度调压器
应用范围
半导体 / 微电子（核心）
分析仪器与实验室
特种气体与工业高纯
- 1/4" 末端用气点（POU）：刻蚀、沉积、扩散、离子注入等高纯气（Ar/N₂/O₂）精密稳压，抑制压力波动，提升工艺良率。
- 气柜（Gas Cabinet）/VMB：高压特种气体（NH₃、HCl、SiH₄、Cl₂）洁净、低泄漏、易吹扫。
- 大宗特气分支：BSGS 系统高压转中低压稳压，适配 Fab 厂多支路精密供气。
分析仪器与实验室
- 气体分析系统：质谱、色谱、ICP、激光系统样气精密稳压，流量变化时压力稳定，数据重复性好。
- 研发 / 中试：高压反应釜、真空腔体、微量供气高精度控压，适配宽温、高纯、腐蚀工况。
特种气体与工业高纯
- 腐蚀性 / 有毒气体：Hastelloy 膜片 + PCTFE/PFA/Vespel 阀座，适配卤素、氢化物、强酸气，低析出、长寿命。
- 高压气瓶减压：241 bar 高压高纯气直接降至2.1/4.1/6.9/10.3 bar，无需多级减压，简化系统。
- 制药 / 生物：无菌氮气、惰性保护气稳压，10 Ra 镜面 + 低内体积，符合洁净标准。
优势特点
高灵敏 + 低压降，稳压精度顶尖
-
固连膜片设计
-
稳压精度高
电解抛光 + 高纯材质，洁净耐腐蚀
-
阀体：316L/316L VAR 不锈钢
-
膜片：Hastelloy® C-276，耐强酸 / 卤素 / 氢气
高压耐受 + 安全设计，适配严苛工况
-
双入口压力等
-
安全可靠
紧凑型 + 高纯接口，安装维护便捷
-
体积小、重量轻
-
高纯接口
-
模块化设计
压力额定值
最大进口压力：600 或 3500 psig / 41.4 或 241 bar
出口压力范围：30、60、100、150 psig / 2.1、4.1、6.9、10.3 bar
阀体材质
经电解抛光的 316L 不锈钢或 316L VAR 不锈钢
阀膜
Hastelloy®
阀座
PCTFE、Teflon PFA® 或 Vespel®
阀杆和阀弹簧
316 不锈钢
其他部件
316 不锈钢或 Hastelloy®
工作温度
Teflon® PFA 阀座：-40 至 71°C/-40 至 160°F
Vespel® 阀座：-40 至 177°C/-40 至 350°F
PCTFE 阀座：-40 至 60°C/-40 至 140°F
端口尺寸和类型
1/4、1/2
外螺纹旋转、内螺纹旋转、外螺纹固定、HPIC
1/4 管接头
流通能力
Cv = 0.15 或 0.06
重量
2 lb / 0.9 kg
最大进口压力：600 或 3500 psig / 41.4 或 241 bar
出口压力范围：30、60、100、150 psig / 2.1、4.1、6.9、10.3 bar
阀体材质
经电解抛光的 316L 不锈钢或 316L VAR 不锈钢
阀膜
Hastelloy®
阀座
PCTFE、Teflon PFA® 或 Vespel®
阀杆和阀弹簧
316 不锈钢
其他部件
316 不锈钢或 Hastelloy®
工作温度
Teflon® PFA 阀座：-40 至 71°C/-40 至 160°F
Vespel® 阀座：-40 至 177°C/-40 至 350°F
PCTFE 阀座：-40 至 60°C/-40 至 140°F
端口尺寸和类型
1/4、1/2
外螺纹旋转、内螺纹旋转、外螺纹固定、HPIC
1/4 管接头
流通能力
Cv = 0.15 或 0.06
重量
2 lb / 0.9 kg
