产品概览
规格参数
产品规则参数
| 最大进口压力 | 120 psig（8.3 bar）、600 psig（41.4 bar）、3500 psig（241 bar）三档可选 |
|---|---|
| 出口调压范围 | 负压区间：50 mm Hg 绝压起 正压档位：15 psig（1.0 bar）、30 psig（2.1 bar）、60 psig（4.1 bar）、100 psig（6.9 bar） |
| 阀体材质 | 电解抛光316L不锈钢、316L VAR不锈钢可选 |
| 阀座材质 | Teflon特氟龙、PCTFE聚三氟氯乙烯 |
| 阀膜材质 | 316L不锈钢 |
| 阀杆、弹簧、阀导向器材质 | 316不锈钢 |
| 工作温度范围 | Teflon阀座：-40℃～71℃ / -40℉～160℉ PCTFE阀座：-40℃～60℃ / -40℉～140℉ |
| 接口尺寸与类型 | 标准接口：1/4" H.P.I.C. 旋转螺纹：1/4"、1/2" 外螺纹旋转 / 内螺纹旋转 进出端口组合： IN 1/4外螺纹 + OUT 1/4内螺纹 IN 1/4内螺纹 + OUT 1/4外螺纹 配套管件：1/4" 卡套管接头 |
| 流通能力Cv | 120 psig（8.3 bar）型号：Cv = 0.24 600 psig（41.4 bar）型号：Cv = 0.15 3500 psig（241 bar）型号：Cv = 0.06 |
| 整机重量 | 2 lb / 0.9 kg |
参考完整规格参数
TESCOM™ 64-5000 系列负压调压器
应用范围
半导体 / 微电子（核心）
真空工艺稳压：ALD、CVD、外延、刻蚀等50 mmHg 绝压～6.9 bar宽范围精准控压，适配真空 - 低压过渡工艺。
气柜（Gas Cabinet）/VMB：高压特种气体（如 SiH₄、Cl₂、HF）安全、洁净、易吹扫。
大宗特气 BSGS：N₂、Ar、O₂等中高压转负压 / 微正压，满足特殊工艺压力需求。
特种气体与分析仪器
有毒 / 腐蚀性气体：316L 金属膜片 + PCTFE 阀座，适配卤素、氢化物、强酸气，负压下密封可靠、低析出。
气体分析系统：质谱、色谱、有毒气体分析仪真空 / 低压样气稳压，稳定性好、无交叉污染。
高压气瓶负压转换：241/41.4/8.3 bar 高压高纯气直接减压至50 mmHg 绝压，无需额外真空源。
制药 / 生物与科研
无菌真空系统：制药冻干、无菌包装真空稳压，10 Ra 镜面 + 低内体积，符合洁净标准。
实验室 / 中试：高压反应釜、真空腔体、微量供气绝压 / 负压精密控制，适配宽压力区间实验。
氢能 / 新能源：高压氢241 bar 转负压 / 微正压，适配燃料电池测试、氢循环系统。
优势特点
绝压 / 负压宽范围，精准可控
负压专属设计
多入口压力等级
稳压精度高
电解抛光 + 高纯材质，洁净耐腐蚀
阀体：316L/316L VAR 不锈钢
膜片：316L 不锈钢（金属对金属密封）
高压耐受 + 低内体积，安全易吹扫
高压转负压能力
低内体积
安全设计
紧凑型 + 高纯接口，安装维护便捷
体积小、重量轻
高纯接口
模块化设计
| 最大进口压力 | 120 psig（8.3 bar）、600 psig（41.4 bar）、3500 psig（241 bar）三档可选 |
|---|---|
| 出口调压范围 | 负压区间：50 mm Hg 绝压起 正压档位：15 psig（1.0 bar）、30 psig（2.1 bar）、60 psig（4.1 bar）、100 psig（6.9 bar） |
| 阀体材质 | 电解抛光316L不锈钢、316L VAR不锈钢可选 |
| 阀座材质 | Teflon特氟龙、PCTFE聚三氟氯乙烯 |
| 阀膜材质 | 316L不锈钢 |
| 阀杆、弹簧、阀导向器材质 | 316不锈钢 |
| 工作温度范围 | Teflon阀座：-40℃～71℃ / -40℉～160℉ PCTFE阀座：-40℃～60℃ / -40℉～140℉ |
| 接口尺寸与类型 | 标准接口：1/4" H.P.I.C. 旋转螺纹：1/4"、1/2" 外螺纹旋转 / 内螺纹旋转 进出端口组合： IN 1/4外螺纹 + OUT 1/4内螺纹 IN 1/4内螺纹 + OUT 1/4外螺纹 配套管件：1/4" 卡套管接头 |
| 流通能力Cv | 120 psig（8.3 bar）型号：Cv = 0.24 600 psig（41.4 bar）型号：Cv = 0.15 3500 psig（241 bar）型号：Cv = 0.06 |
| 整机重量 | 2 lb / 0.9 kg |
