产品概览
规格参数
产品规则参数
压力额定值
最大进口压力：120、600 或 3500 psig / 8.3、41.4 或 241 bar
出口压力范围：50 mm Hg 绝对值 -
15、30、60、100 psig / 1.0、2.1、4.1、6.9 bar
阀体材质
经电解抛光的 316L 不锈钢或 316L VAR 不锈钢
阀座
Teflon®、PCTFE
阀膜
316L 不锈钢
阀杆、弹簧和阀导向器
316 不锈钢
工作温度
Teflon® 阀座：-40°C 至 71°C / -40°F 至 160°F
PCTFE 阀座：-40°C 至 60°C / -40°F 至 140°F
接口尺寸和类型
1/4 H.P.I.C.
1/4、1/2 外螺纹旋转
1/4、1/2 内螺纹旋转
IN 端口 1/4 外螺纹；OUT 端口：1/4 内螺纹
IN 端口：1/4 内螺纹；OUT 端口：1/4 外螺纹
1/4 管接头
流通能力
Cv = 0.24（120 psig / 8.3 bar 型号）
Cv = 0.15（600 psig / 41.4 bar 型号）
Cv = 0.06（3500 psig / 241 bar 型号）
重量
2 lb / 0.9 kg
最大进口压力：120、600 或 3500 psig / 8.3、41.4 或 241 bar
出口压力范围：50 mm Hg 绝对值 -
15、30、60、100 psig / 1.0、2.1、4.1、6.9 bar
阀体材质
经电解抛光的 316L 不锈钢或 316L VAR 不锈钢
阀座
Teflon®、PCTFE
阀膜
316L 不锈钢
阀杆、弹簧和阀导向器
316 不锈钢
工作温度
Teflon® 阀座：-40°C 至 71°C / -40°F 至 160°F
PCTFE 阀座：-40°C 至 60°C / -40°F 至 140°F
接口尺寸和类型
1/4 H.P.I.C.
1/4、1/2 外螺纹旋转
1/4、1/2 内螺纹旋转
IN 端口 1/4 外螺纹；OUT 端口：1/4 内螺纹
IN 端口：1/4 内螺纹；OUT 端口：1/4 外螺纹
1/4 管接头
流通能力
Cv = 0.24（120 psig / 8.3 bar 型号）
Cv = 0.15（600 psig / 41.4 bar 型号）
Cv = 0.06（3500 psig / 241 bar 型号）
重量
2 lb / 0.9 kg
参考完整规格参数
TESCOM™ 64-5000 系列负压调压器
应用范围
半导体 / 微电子（核心）
特种气体与分析仪器
制药 / 生物与科研
- 真空工艺稳压：ALD、CVD、外延、刻蚀等50 mmHg 绝压～6.9 bar宽范围精准控压，适配真空 - 低压过渡工艺。
- 气柜（Gas Cabinet）/VMB：高压特种气体（如 SiH₄、Cl₂、HF）安全、洁净、易吹扫。
- 大宗特气 BSGS：N₂、Ar、O₂等中高压转负压 / 微正压，满足特殊工艺压力需求。
特种气体与分析仪器
- 有毒 / 腐蚀性气体：316L 金属膜片 + PCTFE 阀座，适配卤素、氢化物、强酸气，负压下密封可靠、低析出。
- 气体分析系统：质谱、色谱、有毒气体分析仪真空 / 低压样气稳压，稳定性好、无交叉污染。
- 高压气瓶负压转换：241/41.4/8.3 bar 高压高纯气直接减压至50 mmHg 绝压，无需额外真空源。
制药 / 生物与科研
- 无菌真空系统：制药冻干、无菌包装真空稳压，10 Ra 镜面 + 低内体积，符合洁净标准。
- 实验室 / 中试：高压反应釜、真空腔体、微量供气绝压 / 负压精密控制，适配宽压力区间实验。
- 氢能 / 新能源：高压氢241 bar 转负压 / 微正压，适配燃料电池测试、氢循环系统。
优势特点
绝压 / 负压宽范围，精准可控
-
负压专属设计
-
多入口压力等级
-
稳压精度高
电解抛光 + 高纯材质，洁净耐腐蚀
-
阀体：316L/316L VAR 不锈钢
-
膜片：316L 不锈钢（金属对金属密封）
高压耐受 + 低内体积，安全易吹扫
-
高压转负压能力
-
低内体积
-
安全设计
紧凑型 + 高纯接口，安装维护便捷
-
体积小、重量轻
-
高纯接口
-
模块化设计
压力额定值
最大进口压力：120、600 或 3500 psig / 8.3、41.4 或 241 bar
出口压力范围：50 mm Hg 绝对值 -
15、30、60、100 psig / 1.0、2.1、4.1、6.9 bar
阀体材质
经电解抛光的 316L 不锈钢或 316L VAR 不锈钢
阀座
Teflon®、PCTFE
阀膜
316L 不锈钢
阀杆、弹簧和阀导向器
316 不锈钢
工作温度
Teflon® 阀座：-40°C 至 71°C / -40°F 至 160°F
PCTFE 阀座：-40°C 至 60°C / -40°F 至 140°F
接口尺寸和类型
1/4 H.P.I.C.
1/4、1/2 外螺纹旋转
1/4、1/2 内螺纹旋转
IN 端口 1/4 外螺纹；OUT 端口：1/4 内螺纹
IN 端口：1/4 内螺纹；OUT 端口：1/4 外螺纹
1/4 管接头
流通能力
Cv = 0.24（120 psig / 8.3 bar 型号）
Cv = 0.15（600 psig / 41.4 bar 型号）
Cv = 0.06（3500 psig / 241 bar 型号）
重量
2 lb / 0.9 kg
最大进口压力：120、600 或 3500 psig / 8.3、41.4 或 241 bar
出口压力范围：50 mm Hg 绝对值 -
15、30、60、100 psig / 1.0、2.1、4.1、6.9 bar
阀体材质
经电解抛光的 316L 不锈钢或 316L VAR 不锈钢
阀座
Teflon®、PCTFE
阀膜
316L 不锈钢
阀杆、弹簧和阀导向器
316 不锈钢
工作温度
Teflon® 阀座：-40°C 至 71°C / -40°F 至 160°F
PCTFE 阀座：-40°C 至 60°C / -40°F 至 140°F
接口尺寸和类型
1/4 H.P.I.C.
1/4、1/2 外螺纹旋转
1/4、1/2 内螺纹旋转
IN 端口 1/4 外螺纹；OUT 端口：1/4 内螺纹
IN 端口：1/4 内螺纹；OUT 端口：1/4 外螺纹
1/4 管接头
流通能力
Cv = 0.24（120 psig / 8.3 bar 型号）
Cv = 0.15（600 psig / 41.4 bar 型号）
Cv = 0.06（3500 psig / 241 bar 型号）
重量
2 lb / 0.9 kg
