产品规则参数
| 压力额定值 |
最大进口压力：600 psig / 41.4 bar 出口压力：30、60、100、150 psig / 2.1、4.1、6.9、10.3 bar |
|---|---|
| 材质 |
阀体：电解抛光316L / 316L VAR不锈钢；阀膜：Hastelloy 阀座：PCTFE、Teflon PFA；阀座固定器：Nitronic 60 阀杆、密封及其余零件：316不锈钢 |
| 工作温度 |
Teflon PFA阀座：-40°C ~ 71°C / -40°F ~ 160°F PCTFE阀座：-40°C ~ 60°C / -40°F ~ 140°F |
| 端口规格 | 3/8、1/2管接头；1/2内外旋转外螺纹；3/8、1/2卡套接头 |
| 流通能力 | Cv = 1.0 |
| 负载类型 | 手动 |
| 重量（不含压力表） | 3.5 lb / 1.6 kg |
TESCOM™ 64-5400 系列电解抛光调压器
应用范围
半导体 / 微电子（核心）
大宗特种气体系统（BSGS）：Ar、N₂、O₂等大宗高纯气集中稳压，1/2" 主路输送，适配 Fab 厂大流量需求
1/2" 末端用气点（POU）：刻蚀、沉积、扩散设备大流量高纯气终端稳压，兼容高流量吹扫
气柜（Gas Cabinet）/ 阀箱（VMB）：中压特种气体（如 NH₃、HCl）r，安全洁净、易吹扫
特种气体与工业高纯气
腐蚀性 / 惰性气体：Hastelloy 膜片 + PCTFE/PFA 阀座，适配卤素、氢化物、强酸气，低析出、长寿命。
高压气瓶减压：41.4 bar（600 psig）高压高纯气降至2.1/4.1/6.9/10.3 bar，供大流量终端使用
高流量吹扫系统：管路 / 腔体大流量高纯氮 / 氩气吹扫，Cv=1.0 流量足、低内体积吹扫彻底
制药 / 生物与新能源
制药无菌气：无菌氮气、惰性保护气稳压，10 Ra 镜面 + 低内体积，符合 CGA 4.1/ISO 14644 洁净标准
氢能 / 燃料电池：41.4 bar 氢气减压至10.3 bar，适配中小型加氢站 / 燃料电池测试，无油无污染。
研发 / 中试设备：高压反应釜、中试装置大流量高纯气稳压，稳定性好、响应快
优势特点
电解抛光 + 高纯材质，洁净耐腐蚀
阀体：316L/316L VAR 不锈钢
膜片：Hastelloy® C-276，耐强酸 / 卤素 / 氢气，抗疲劳、无析出、寿命长。
中压耐受 + 高流量，动态性能优
入口压力：41.4 bar，适配中压高纯气瓶
出口压力：2.1/4.1/6.9/10.3 bar覆盖中低压工艺需求
流量系数 Cv=1.0
平衡式阀芯。
低内体积 + 金属密封，安全易吹扫
低内体积
金属对金属密封
安全设计
紧凑型 + 多接口，安装维护便捷
体积小、重量轻
高纯接口
模块化设计
| 压力额定值 |
最大进口压力：600 psig / 41.4 bar 出口压力：30、60、100、150 psig / 2.1、4.1、6.9、10.3 bar |
|---|---|
| 材质 |
阀体：电解抛光316L / 316L VAR不锈钢；阀膜：Hastelloy 阀座：PCTFE、Teflon PFA；阀座固定器：Nitronic 60 阀杆、密封及其余零件：316不锈钢 |
| 工作温度 |
Teflon PFA阀座：-40°C ~ 71°C / -40°F ~ 160°F PCTFE阀座：-40°C ~ 60°C / -40°F ~ 140°F |
| 端口规格 | 3/8、1/2管接头；1/2内外旋转外螺纹；3/8、1/2卡套接头 |
| 流通能力 | Cv = 1.0 |
| 负载类型 | 手动 |
| 重量（不含压力表） | 3.5 lb / 1.6 kg |
