产品概览
规格参数
产品规则参数
压力额定值
最大进口压力：600 psig / 41.4 bar
出口压力范围：30、60、100、150 psig / 2.1、4.1、6.9、10.3 bar
阀体材质
经电解抛光的 316L 不锈钢或 316L VAR 不锈钢
阀膜
Hastelloy®
阀座
聚三氟氯乙烯 (PCTFE) 或 Teflon® PFA
阀座固定器
Nitronic 60 不锈钢
阀杆、密封件和其他部件
316 不锈钢
工作温度
Teflon® PFA 阀座：-40°C 至 71°C / -40°F 至 160°F
PCTFE 阀座：-40°C 至 60°C / -40°F 至 140°F
端口尺寸和类型
3/8 管接头
1/2 管接头
1/2 外螺纹旋转
1/2 内螺纹旋转
3/8 压缩接头
1/2 压缩接头
流通能力
Cv = 1.0
负载类型
手动
重量（不带压力表）
3.5 lb / 1.6 kg
最大进口压力：600 psig / 41.4 bar
出口压力范围：30、60、100、150 psig / 2.1、4.1、6.9、10.3 bar
阀体材质
经电解抛光的 316L 不锈钢或 316L VAR 不锈钢
阀膜
Hastelloy®
阀座
聚三氟氯乙烯 (PCTFE) 或 Teflon® PFA
阀座固定器
Nitronic 60 不锈钢
阀杆、密封件和其他部件
316 不锈钢
工作温度
Teflon® PFA 阀座：-40°C 至 71°C / -40°F 至 160°F
PCTFE 阀座：-40°C 至 60°C / -40°F 至 140°F
端口尺寸和类型
3/8 管接头
1/2 管接头
1/2 外螺纹旋转
1/2 内螺纹旋转
3/8 压缩接头
1/2 压缩接头
流通能力
Cv = 1.0
负载类型
手动
重量（不带压力表）
3.5 lb / 1.6 kg
参考完整规格参数
TESCOM™ 64-5400 系列电解抛光调压器
应用范围
半导体 / 微电子（核心）
特种气体与工业高纯气
制药 / 生物与新能源
- 大宗特种气体系统（BSGS）：Ar、N₂、O₂等大宗高纯气集中稳压，1/2" 主路输送，适配 Fab 厂大流量需求
- 1/2" 末端用气点（POU）：刻蚀、沉积、扩散设备大流量高纯气终端稳压，兼容高流量吹扫
- 气柜（Gas Cabinet）/ 阀箱（VMB）：中压特种气体（如 NH₃、HCl）r，安全洁净、易吹扫
特种气体与工业高纯气
- 腐蚀性 / 惰性气体：Hastelloy 膜片 + PCTFE/PFA 阀座，适配卤素、氢化物、强酸气，低析出、长寿命。
- 高压气瓶减压：41.4 bar（600 psig）高压高纯气降至2.1/4.1/6.9/10.3 bar，供大流量终端使用
- 高流量吹扫系统：管路 / 腔体大流量高纯氮 / 氩气吹扫，Cv=1.0 流量足、低内体积吹扫彻底
制药 / 生物与新能源
- 制药无菌气：无菌氮气、惰性保护气稳压，10 Ra 镜面 + 低内体积，符合 CGA 4.1/ISO 14644 洁净标准
- 氢能 / 燃料电池：41.4 bar 氢气减压至10.3 bar，适配中小型加氢站 / 燃料电池测试，无油无污染。
- 研发 / 中试设备：高压反应釜、中试装置大流量高纯气稳压，稳定性好、响应快
优势特点
电解抛光 + 高纯材质，洁净耐腐蚀
中压耐受 + 高流量，动态性能优
低内体积 + 金属密封，安全易吹扫
紧凑型 + 多接口，安装维护便捷
- 阀体：316L/316L VAR 不锈钢
- 膜片：Hastelloy® C-276，耐强酸 / 卤素 / 氢气，抗疲劳、无析出、寿命长。
中压耐受 + 高流量，动态性能优
- 入口压力：41.4 bar，适配中压高纯气瓶
- 出口压力：2.1/4.1/6.9/10.3 bar覆盖中低压工艺需求
- 流量系数 Cv=1.0
- 平衡式阀芯。
低内体积 + 金属密封，安全易吹扫
- 低内体积
- 金属对金属密封
- 安全设计
紧凑型 + 多接口，安装维护便捷
- 体积小、重量轻
- 高纯接口
- 模块化设计
压力额定值
最大进口压力：600 psig / 41.4 bar
出口压力范围：30、60、100、150 psig / 2.1、4.1、6.9、10.3 bar
阀体材质
经电解抛光的 316L 不锈钢或 316L VAR 不锈钢
阀膜
Hastelloy®
阀座
聚三氟氯乙烯 (PCTFE) 或 Teflon® PFA
阀座固定器
Nitronic 60 不锈钢
阀杆、密封件和其他部件
316 不锈钢
工作温度
Teflon® PFA 阀座：-40°C 至 71°C / -40°F 至 160°F
PCTFE 阀座：-40°C 至 60°C / -40°F 至 140°F
端口尺寸和类型
3/8 管接头
1/2 管接头
1/2 外螺纹旋转
1/2 内螺纹旋转
3/8 压缩接头
1/2 压缩接头
流通能力
Cv = 1.0
负载类型
手动
重量（不带压力表）
3.5 lb / 1.6 kg
最大进口压力：600 psig / 41.4 bar
出口压力范围：30、60、100、150 psig / 2.1、4.1、6.9、10.3 bar
阀体材质
经电解抛光的 316L 不锈钢或 316L VAR 不锈钢
阀膜
Hastelloy®
阀座
聚三氟氯乙烯 (PCTFE) 或 Teflon® PFA
阀座固定器
Nitronic 60 不锈钢
阀杆、密封件和其他部件
316 不锈钢
工作温度
Teflon® PFA 阀座：-40°C 至 71°C / -40°F 至 160°F
PCTFE 阀座：-40°C 至 60°C / -40°F 至 140°F
端口尺寸和类型
3/8 管接头
1/2 管接头
1/2 外螺纹旋转
1/2 内螺纹旋转
3/8 压缩接头
1/2 压缩接头
流通能力
Cv = 1.0
负载类型
手动
重量（不带压力表）
3.5 lb / 1.6 kg
