产品规则参数
| 压力额定值 |
最大进口压力：600 psig/41.4 bar、3500 psig/241 bar 出口压力：30、60、100 psig / 2.1、4.1、6.9 bar |
|---|---|
| 材质 |
阀体：电解抛光316L VAR不锈钢；阀膜：316L不锈钢 阀座：PCTFE，3500psig款可选Vespel；阀杆、后阀座：316不锈钢 |
| 工作温度 |
PCTFE阀座：-40°C ~ 60°C / -40°F ~ 140°F Vespel阀座：-40°C ~ 177°C / -40°F ~ 350°F |
| 端口规格 | 1/4 HPIC；1/4、1/2 内外旋转螺纹；1/4管接头 |
| 流通能力 | 3500psig型号Cv=0.06；600psig型号Cv=0.15 |
| 重量（不含压力表） | 2.0 lb / 0.9 kg |
TESCOM™ 74-2400 系列无弹簧无螺纹调压器
应用范围
半导体 / 微电子（核心）
1/4" 末端用气点（POU）：刻蚀、沉积、扩散设备超高纯气（Ar/N₂/NH₃/HCl）终端稳压，无死角、无颗粒、低残留。
气柜（Gas Cabinet）/ 阀箱（VMB）：高压特种气体（如 SiH₄、Cl₂、HF）从 241 bar 降至 2.1–6.9 bar，安全、洁净、易吹扫。
高洁净工艺：ALD/CVD/ 外延等真空–低压高纯气稳压，符合SEMI、CGA 4.1标准。
特种气体与研发实验室
腐蚀性 / 有毒气体：316L 金属膜片 + PCTFE/Vespel 阀座，适配卤素、氢化物、强酸气，密封可靠、低析出。
高压气瓶减压：41.4/241 bar 高压高纯气降至2.1/4.1/6.9 bar，供实验室仪器 / 反应釜使用。
微量 / 精密供气：ICP、质谱、高压微反应装置小流量高纯气稳压，稳定性好、响应快。
氢能 / 新能源与制药
高压氢系统：241 bar 氢气减压至6.9 bar，适配燃料电池测试、小型加氢站，无油无污染。
制药 / 生物无菌气：无菌氮气、惰性保护气稳压，低内体积 + 易吹扫，符合无菌与洁净要求。
优势特点
无弹簧 + 无螺纹，极致洁净零死角
金属膜片 + 高压耐受，安全可靠
电解抛光 + 顶级材质，适配高纯 / 腐蚀介质
小流量 + 低压降，动态稳定
紧凑型 + 高纯接口，安装维护便捷
| 压力额定值 |
最大进口压力：600 psig/41.4 bar、3500 psig/241 bar 出口压力：30、60、100 psig / 2.1、4.1、6.9 bar |
|---|---|
| 材质 |
阀体：电解抛光316L VAR不锈钢；阀膜：316L不锈钢 阀座：PCTFE，3500psig款可选Vespel；阀杆、后阀座：316不锈钢 |
| 工作温度 |
PCTFE阀座：-40°C ~ 60°C / -40°F ~ 140°F Vespel阀座：-40°C ~ 177°C / -40°F ~ 350°F |
| 端口规格 | 1/4 HPIC；1/4、1/2 内外旋转螺纹；1/4管接头 |
| 流通能力 | 3500psig型号Cv=0.06；600psig型号Cv=0.15 |
| 重量（不含压力表） | 2.0 lb / 0.9 kg |
