产品规则参数
最大进口压力
300、600、1000 或 3500 psig / 20.7、41.4、69.0 或 241 bar
出口压力范围
100 mm Hg 绝对值 - 15 psig,3-30、3-60、4-100 和 4-150 psig
100 mm Hg 绝对值 - 1.0 bar,0.21-2.1、0.21-4.1、0.28-6.9 和 0.28-10.3 bar
材料
阀体:经电解抛光的 316L VAR 不锈钢
阀膜:Hastelloy®
阀杆、密封件和其他部件:316 不锈钢
阀座
3500 psig / 241 bar:Vespel®
300 和 1000 psig / 20.7 和 69.0 bar:PCTFE
600 psig / 41.4 bar:Teflon® PFA
工作温度
Vespel® 阀座:-40 至 149°C/-40 至 300°F
PCTFE 阀座:-40 至 60°C/-40 至 140°F
Teflon® PFA 阀座:-40 至 71°C/-40 至 160°F
端口尺寸和类型
1/4、3/8、1/2 管接头
1/4 外螺纹固定
1/2 外螺纹旋转、内螺纹旋转
流通能力
Cv = 0.5
负载类型
手动
重量
3.2 lb / 1.5kg

TESCOM™ 74-3000 系列无螺纹调压器
应用范围
半导体与微电子(核心)
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高纯气体分配:硅片制造、刻蚀 / 沉积设备超高纯气(Ar/NH3/HCl)稳压,无螺纹设计无死角、无颗粒残留
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1/2" 终端用气点:Fab 厂大流量高纯气终端稳压,适配高流量吹扫需求。
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真空 / 低压工艺:支持绝压 100 mmHg~10.3 bar宽范围,适配低压 CVD/ALD 工艺。
特种气体与实验室
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腐蚀性 / 有毒气体:316L+Hastelloy 膜片,适配Cl2、HF、SiH4等,密封可靠、低析出。
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高流量吹扫系统:管路 / 腔体大流量高纯氮 / 氩气吹扫,低内体积 + 无死角,吹扫彻底、残留极低。
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研发 / 分析仪器:ICP、质谱、高压反应釜高纯气精密稳压,适配洁净实验室。
工业高纯气与能源
-
氢能 / 燃料电池:高压氢气(≤241 bar)减压至 10.3 bar,适配加氢站 / 燃料电池测试,洁净无油。
-
制药 / 生物科技:无菌气体、惰性保护气稳压,符合CGA 4.1/ISO 14644洁净标准。
-
高压气瓶减压:20.7–241 bar 高压气源降至0.21–10.3 bar,供高纯气终端使用。
优势特点
- 内部无螺纹 + 超高洁净,颗粒 / 残留为零
- 高压耐受 + 宽出口范围,工况覆盖广
- Cv=0.5 中高流量 + 低压降,动态性能优
- 顶级材质 + 宽温,适配多介质
- 紧凑型 + 多接口,安装维护便捷
最大进口压力
300、600、1000 或 3500 psig / 20.7、41.4、69.0 或 241 bar
出口压力范围
100 mm Hg 绝对值 - 15 psig,3-30、3-60、4-100 和 4-150 psig
100 mm Hg 绝对值 - 1.0 bar,0.21-2.1、0.21-4.1、0.28-6.9 和 0.28-10.3 bar
材料
阀体:经电解抛光的 316L VAR 不锈钢
阀膜:Hastelloy®
阀杆、密封件和其他部件:316 不锈钢
阀座
3500 psig / 241 bar:Vespel®
300 和 1000 psig / 20.7 和 69.0 bar:PCTFE
600 psig / 41.4 bar:Teflon® PFA
工作温度
Vespel® 阀座:-40 至 149°C/-40 至 300°F
PCTFE 阀座:-40 至 60°C/-40 至 140°F
Teflon® PFA 阀座:-40 至 71°C/-40 至 160°F
端口尺寸和类型
1/4、3/8、1/2 管接头
1/4 外螺纹固定
1/2 外螺纹旋转、内螺纹旋转
流通能力
Cv = 0.5
负载类型
手动
重量
3.2 lb / 1.5kg









