产品概览
规格参数
产品规则参数
| 最大进口压力 | 300、600、1000、3500 psig / 20.7、41.4、69.0、241 bar |
|---|---|
| 出口压力范围 |
100 mmHg绝压～15、30、60、100、150 psig 100 mmHg绝压～1.0、2.1、4.1、6.9、10.3 bar |
| 材质 |
阀体：电解抛光316L VAR不锈钢；阀膜：Hastelloy 阀杆、密封及其余零件：316不锈钢 阀座：3500psig款Vespel；300/1000psig款PCTFE；600psig款Teflon PFA |
| 工作温度 |
Vespel：-40~149°C / -40~300°F PCTFE：-40~60°C / -40~140°F PFA：-40~71°C / -40~160°F |
| 端口规格 | 1/4、3/8、1/2管接头；1/4外螺纹固定；1/2内外旋转外螺纹 |
| 流通能力 | Cv = 0.5 |
| 负载类型 | 手动 |
| 重量 | 3.2 lb / 1.5 kg |
参考完整规格参数
TESCOM™ 74-3000 系列无螺纹调压器
应用范围
半导体与微电子（核心）
- 高纯气体分配：硅片制造、刻蚀 / 沉积设备超高纯气（Ar/NH3/HCl）稳压，无螺纹设计无死角、无颗粒残留
- 1/2" 终端用气点：Fab 厂大流量高纯气终端稳压，适配高流量吹扫需求。
- 真空 / 低压工艺：支持绝压 100 mmHg～10.3 bar宽范围，适配低压 CVD/ALD 工艺。
特种气体与实验室
- 腐蚀性 / 有毒气体：316L+Hastelloy 膜片，适配Cl2、HF、SiH4等，密封可靠、低析出。
- 高流量吹扫系统：管路 / 腔体大流量高纯氮 / 氩气吹扫，低内体积 + 无死角，吹扫彻底、残留极低。
- 研发 / 分析仪器：ICP、质谱、高压反应釜高纯气精密稳压，适配洁净实验室。
工业高纯气与能源
- 氢能 / 燃料电池：高压氢气（≤241 bar）减压至 10.3 bar，适配加氢站 / 燃料电池测试，洁净无油。
- 制药 / 生物科技：无菌气体、惰性保护气稳压，符合CGA 4.1/ISO 14644洁净标准。
- 高压气瓶减压：20.7–241 bar 高压气源降至0.21–10.3 bar，供高纯气终端使用。
优势特点
- 内部无螺纹 + 超高洁净，颗粒 / 残留为零
- 高压耐受 + 宽出口范围，工况覆盖广
- Cv=0.5 中高流量 + 低压降，动态性能优
- 顶级材质 + 宽温，适配多介质
- 紧凑型 + 多接口，安装维护便捷
| 最大进口压力 | 300、600、1000、3500 psig / 20.7、41.4、69.0、241 bar |
|---|---|
| 出口压力范围 |
100 mmHg绝压～15、30、60、100、150 psig 100 mmHg绝压～1.0、2.1、4.1、6.9、10.3 bar |
| 材质 |
阀体：电解抛光316L VAR不锈钢；阀膜：Hastelloy 阀杆、密封及其余零件：316不锈钢 阀座：3500psig款Vespel；300/1000psig款PCTFE；600psig款Teflon PFA |
| 工作温度 |
Vespel：-40~149°C / -40~300°F PCTFE：-40~60°C / -40~140°F PFA：-40~71°C / -40~160°F |
| 端口规格 | 1/4、3/8、1/2管接头；1/4外螺纹固定；1/2内外旋转外螺纹 |
| 流通能力 | Cv = 0.5 |
| 负载类型 | 手动 |
| 重量 | 3.2 lb / 1.5 kg |
