产品概览
规格参数
产品规则参数
| 压力额定值 |
最大入口压力：580 psig / 40.0 bar 最大出口压力：22、58、145 psig / 1.5、4.0、10.0 bar |
|---|---|
| 材料 |
阀体：316 不锈钢 阀膜：Elgiloy® / Hastelloy® |
| 阀座 |
阀门：PCTFE 减压器：PTFE |
| 大气压下的泄漏率 |
每个连接 10⁻⁸ mbar·l/sec 氦气 |
| 流量速率 |
1-200 LPM，以氮气为基准 |
| 工作温度 |
-20°C 至 70°C / -4°F 至 158°F |
| 接口尺寸和类型 |
入口和出口：1/4 高纯度内部连接 (HPIC)，适配 1/4 旋转 VCR®（或兼容接头） 压力表：1/4 内部 VCR® |
| 重量（近似值） |
2.7 lb / 1.2 kg |
参考完整规格参数
TESCOM™ 超高纯度 MiniLabo2 调压器
应用范围
- 实验室与分析仪器（核心）：高纯载气 GC/GC-MS/ICP-MS/ECD 等 6.0 级（99.9999%）N₂/Ar/He/H₂ 稳压，适配痕量分析；单点用气终端 实验室集中供气末端减压，40 bar 管路降至 1.5/4/10 bar 工作压；研发小流量反应气 微量催化、混合气配比，无析出、无交叉污染
- 半导体 / 微电子（UHP 场景）：晶圆制程 扩散 / 刻蚀 / 沉积工艺高纯特种气（SiH₄/NH₃/HCl）终端稳压；洁净室用气点 UHP 气体分配系统末端，符合 SEMI F19，低微粒、低泄漏
- 制药 / 生物 / 精细化工：无菌工艺气 发酵 / 冻干 / 包装高纯 N₂/CO₂，无油无尘、符合 GMP；高纯度化学品保护 惰性气体覆盖、微量腐蚀气（Cl₂/HF）输送，耐腐材质 + 金属密封
- 通用高纯 / 特种气体：非腐蚀 / 轻度腐蚀气 Ar/N₂/He/H₂/NH₃/SO₂ 等，纯度最高 6.0 级；气瓶 / 汇流排末端 40 bar 高压气源二级精调，稳定出口压力、减少波动
优势特点
- 超高纯净 + 极低泄漏，适配 6.0 级 UHP
- 超紧凑 + 极小死区，快速置换
- 精准稳压 + 小流量稳定，适配分析级
- 模块化 + 易用，降低运维
- 宽工况 + 安全合规
| 压力额定值 |
最大入口压力：580 psig / 40.0 bar 最大出口压力：22、58、145 psig / 1.5、4.0、10.0 bar |
|---|---|
| 材料 |
阀体：316 不锈钢 阀膜：Elgiloy® / Hastelloy® |
| 阀座 |
阀门：PCTFE 减压器：PTFE |
| 大气压下的泄漏率 |
每个连接 10⁻⁸ mbar·l/sec 氦气 |
| 流量速率 |
1-200 LPM，以氮气为基准 |
| 工作温度 |
-20°C 至 70°C / -4°F 至 158°F |
| 接口尺寸和类型 |
入口和出口：1/4 高纯度内部连接 (HPIC)，适配 1/4 旋转 VCR®（或兼容接头） 压力表：1/4 内部 VCR® |
| 重量（近似值） |
2.7 lb / 1.2 kg |
