产品概览
规格参数

产品规则参数

压力额定值
最大入口压力:580 psig / 40.0 bar
最大出口压力:22、58、145 psig / 1.5、4.0、10.0 bar
材料
阀体:316 不锈钢
阀膜:Elgiloy® / Hastelloy®
阀座
阀门:PCTFE
减压器:PTFE
大气压下的泄漏率
每个连接 10-8 mbar l/sec 氦气
流量速率
1-200 LPM,以氮气为基准
工作温度
-20°C 至 70°C / -4°F 至 158°F
接口尺寸和类型
入口和出口:1/4 高纯度内部连接 (HPIC) 设计用于与 1/4 旋转 VCR®(或兼容的接头)一起使用
压力表:1/4 内部 VCR®
重量(近似值)
2.7 lb / 1.2 kg
参考完整规格参数
TESCOM™ 超高纯度 MiniLabo2 调压器

TESCOM™ 超高纯度 MiniLabo2 调压器

应用范围

实验室与分析仪器(核心)

  • 高纯载气:GC、GC-MS、ICP-MS、ECD 等6.0 级(99.9999%)N₂、Ar、He、H₂稳压,适配痕量 / 超痕量分析。

  • 单点用气终端:实验室集中供气末端、单台仪器专用减压,40 bar 管路压降至 1.5/4/10 bar 工作压。

  • 研发小流量反应气:微量催化、材料生长、混合气配比,无析出、无交叉污染。


半导体 / 微电子(UHP 场景)

  • 晶圆制程:扩散、刻蚀、沉积工艺高纯特种气(SiH₄、NH₃、HCl)终端稳压。

  • 洁净室用气点:UHP 气体分配系统末端,符合 SEMI F19,低微粒、低泄漏。


制药 / 生物 / 精细化工

  • 无菌工艺气:发酵、冻干、包装高纯 N₂、CO₂,无油无尘、符合 GMP。

  • 高纯度化学品保护:惰性气体覆盖、微量腐蚀气(Cl₂、HF)输送,耐腐材质 + 金属密封。


通用高纯 / 特种气体

  • 非腐蚀 / 轻度腐蚀气:Ar、N₂、He、H₂、NH₃、SO₂等,纯度最高 6.0 级。

  • 气瓶 / 汇流排末端:40 bar 高压气源二级精调,稳定出口压力、减少波动。

优势特点

  • 超高纯净 + 极低泄漏,适配 6.0 级 UHP
  • 超紧凑 + 极小死区,快速置换
  •  精准稳压 + 小流量稳定,适配分析级
  •  模块化 + 易用,降低运维
  • 宽工况 + 安全合规
压力额定值
最大入口压力:580 psig / 40.0 bar
最大出口压力:22、58、145 psig / 1.5、4.0、10.0 bar
材料
阀体:316 不锈钢
阀膜:Elgiloy® / Hastelloy®
阀座
阀门:PCTFE
减压器:PTFE
大气压下的泄漏率
每个连接 10-8 mbar l/sec 氦气
流量速率
1-200 LPM,以氮气为基准
工作温度
-20°C 至 70°C / -4°F 至 158°F
接口尺寸和类型
入口和出口:1/4 高纯度内部连接 (HPIC) 设计用于与 1/4 旋转 VCR®(或兼容的接头)一起使用
压力表:1/4 内部 VCR®
重量(近似值)
2.7 lb / 1.2 kg