产品概览
规格参数
产品规则参数
| 压力额定值 |
最大进口压力：1000 或 3480 psig / 69.0 或 240 bar 出口压力范围：145、247 psig / 10.0、17.0 bar |
|---|---|
| 材料 |
阀体：不锈钢 1.4404 调压器底座：PCTFE 阀座：陶瓷加不锈钢 其他部件：316 不锈钢 |
| 工作温度 |
-40°C 至 60°C / -40°F 至 140°F |
| 流通能力 |
< 9 Nm³/h at Cv = 0.06 阀内件 |
| 泄漏率 |
1 × 10⁻⁸ mbar·l/s 氦气 |
参考完整规格参数
TESCOM™ 超高纯度调压器
应用范围
- 半导体 、 微电子（核心）：大宗特种气体系统 BSGS（SiH₄/NF₃/Cl₂/NH₃ 等高纯 / 腐蚀性气体稳压）；用气点 POU 光刻 / 刻蚀 / 沉积设备终端精密调压，CDA / 氩气 / 氮气大流量稳定供给
- 实验室与分析仪器：气相色谱 GC / 质谱 MS/ECD 高纯载气（N₂/Ar/He/H₂）零污染稳压；中央供气系统 实验室集中高纯气分配，VCR 金属密封、低泄漏、快吹扫
- 制药、 生物医疗：无菌工艺气体 发酵 / 冻干 / 灌装高纯 N₂/CO₂/O₂，符合 USP Class VI、BPE 标准；医用气体 氧气 / 一氧化二氮高纯供给 + 安全泄压
- 特种与腐蚀性气体：腐蚀性介质 HCl/HBr/Cl₂/NH₃，Hastelloy/Elgiloy 膜片 + 316L VAR 阀体；易燃 / 有毒气体 H₂/CH₄/SiH₄，氦检漏＜1×10⁻⁸ mbar・L/s、气泡级内漏
- 食品、饮料与光伏：食品充气 / 保鲜 高纯 CO₂/N₂，无油无颗粒、符合食品级；光伏硅片制程 高纯氩气 / 氢气大流量稳压，适配扩散 / 沉积工序
优势特点
- 超高纯 + 极低泄漏，6.0 级保障
- 精密稳压 + 宽流量覆盖
- 紧凑 / 模块化 + 易维护
- 4安全 + 适配严苛环境
| 压力额定值 |
最大进口压力：1000 或 3480 psig / 69.0 或 240 bar 出口压力范围：145、247 psig / 10.0、17.0 bar |
|---|---|
| 材料 |
阀体：不锈钢 1.4404 调压器底座：PCTFE 阀座：陶瓷加不锈钢 其他部件：316 不锈钢 |
| 工作温度 |
-40°C 至 60°C / -40°F 至 140°F |
| 流通能力 |
< 9 Nm³/h at Cv = 0.06 阀内件 |
| 泄漏率 |
1 × 10⁻⁸ mbar·l/s 氦气 |
